荷兰向中国交付7nm光刻机是真的吗(荷兰要出售光
光刻机是集成电路制造所必须的核心设备之一,相信它的复杂程度,目前我国使用的光刻机,只能制造28nm,14nm的芯片,如果要制造7nm的芯片,还需要更进一步的研究。
今天和大家谈谈光刻机的近况。
2019年初,有相关媒体报道,中芯国际向ASML下单订了一台价值1.2亿美元的EUV(极紫外线)光刻机,预计将于2019年前交货。
ASML中国区总裁金泳璇2019年初曾透露,中芯国际与ASML展开7nm工艺制程的EUV订单洽谈,2019年首台EUV可望落地,并表示对在中国客户装入中国第一台EUV光刻机,由于米国的阻拦,ASML 7nm EUV光刻机还是没有机会进入中芯国际。
国内研发光刻机相关的企业有上海微电子装备有限公司、还有中国电子科技集团公司第四十五研究所、还有合肥芯硕半导体有限公司、还有先腾光电科技有限公司、以及无锡影速半导体科技有限公司,其中上海微装发展得较好,也是中国唯一一家生产高端前道光刻机整机的公司,可以说其代表着国产光刻机技术水平。
上海微装成立于2002年,该公司生产的光刻机包括晶圆制造、IC封装、面板、LED等,其中封装光刻机在国内市场已占据不小的份额,这是国产光刻机取得的进步。在代表着光刻机技术水平的晶圆制造光刻机方面,上海微装目前可生产加工90nm工艺制程的光刻机,这是目前国产光刻机最高水平,而荷兰ASML公司已量产7nm工艺制程EUV光刻机,国产和荷兰的最先进光刻机还有一定的差距。
目前全球仅有ASML、佳能、尼康等少数几家厂商掌握着光刻机的相关技术,而高端光刻机被荷兰的ASML公司垄断了。
在2020年10月份,荷兰光刻机巨头ASML全球副总裁、中国区总裁沈波表示,该公司对向中国出口集成电路光刻机持开放态度,对全球客户均一视同仁,看似松口ASML要卖给中国光刻机了,但事实上,没有这么简单,之前沈波在广州参加中国集成电路制造年会,也放出大招,说可以销售光刻机给中国,可是又有哪家企业买回了EUV光刻机呢?
中芯国际在2020年3月,中芯国际深圳工厂从ASML进口了一台大型光刻机,可后来中芯国际发布公告澄清,此次购买的光刻机并非外界所关心的极紫外光刻机(EUV)。
也就是说,ASML确实想卖给中国光刻机,7nm EUV极紫外的光刻机无缘来到中国,中国现在正在向光刻机进军,加大力度研发,相信很快中国就会有自己的7nm光刻机。没有什么困难能难倒中国人。中国的工程师们加油!
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